通過全光譜擬合法確定薄膜光學常數(shù)和厚度.pdf

1、隨著薄膜及薄膜器件在科研和實際應用中的普及，簡單而精確地測量薄膜的光學常數(shù)和厚度成為一個重要的課題。本文介紹了應用全光譜擬合進行薄膜參數(shù)測量的方法，詳細描述了幾種常用的全局搜索優(yōu)化算法應用于薄膜測量的原理要點、難點和設(shè)計思路，并通過程序設(shè)計對該方法進行測試和改進。 全光譜擬合法測量光學薄膜的實驗系統(tǒng)主要由光源、光譜儀、光學探頭和計算機等組成。應用全局搜索優(yōu)化算法的思想編寫程序軟件，實現(xiàn)對系統(tǒng)采集到的不同薄膜的全光譜透過率/反射率

2、曲線的擬合，并在擬合完成時尋優(yōu)獲得待測薄膜的厚度、折射率和消光系數(shù)等光學參數(shù)的解。 在實驗設(shè)計過程中，充分利用不同優(yōu)化算法的特性進行嘗試和改進，尋找適合全光譜擬合法測量光學薄膜這一具體模型的搜索算法。通過對幾種不同類型的光學薄膜進行測量計算，得出它們在全光譜范圍的擬合結(jié)果和相應的各個光學參數(shù)解，對比不同算法在優(yōu)化效率和精度上的差別，從而闡述全光譜擬合法的適用性和應用前景。 本課題完成了全光譜擬合法中自適應模擬退火算法、自