畢業(yè)論文——對(duì)于單一傳輸測(cè)量薄膜光學(xué)常數(shù)的測(cè)定方法關(guān)鍵綜述_第1頁(yè)
已閱讀1頁(yè),還剩14頁(yè)未讀 繼續(xù)免費(fèi)閱讀

下載本文檔

版權(quán)說(shuō)明:本文檔由用戶(hù)提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡(jiǎn)介

1、對(duì)于單一傳輸測(cè)量薄膜光學(xué)常數(shù)的測(cè)定方法:關(guān)鍵綜述摘要:光傳輸測(cè)量通常用于常規(guī)薄膜光學(xué)常數(shù)的測(cè)定。本文提出了一種對(duì)評(píng)估這些傳輸數(shù)據(jù)的不同方法概述,因此對(duì)于復(fù)雜的折射率值有三組不同區(qū)分使用的方法:(1)至少使用兩種不同的光測(cè)量;(2)用色散關(guān)系或者一般的物理去約束近似的依賴(lài)于波長(zhǎng)的折射率的行為;和(3)一個(gè)“虛擬”的測(cè)量作為第二個(gè)變量。該方法從組(2)和(3)(只需要一個(gè)單一的傳輸測(cè)量)被作為是更詳細(xì)的處理和內(nèi)容的準(zhǔn)確性評(píng)價(jià)。1簡(jiǎn)介對(duì)依賴(lài)于

2、波長(zhǎng)的精確值的知識(shí)的固體薄膜的復(fù)折射率非常重要的,無(wú)論是從基礎(chǔ)技術(shù)的觀(guān)點(diǎn)還是它產(chǎn)生的光能隙的基本信息(半導(dǎo)體和絕緣體),缺陷水平,聲子與等離子體頻率等。此外,折射率指數(shù)對(duì)于光學(xué)組件的設(shè)計(jì)與模型是必要的,例如干涉濾光片的光學(xué)涂層。對(duì)于各向同性的模型,均勻平面平行薄膜也可以采用,在實(shí)部和虛折射率的零件可以用每個(gè)波長(zhǎng)來(lái)完全確定該膜的光學(xué)特性(在大多數(shù)情況下,膜厚可以在同一時(shí)間被確定)。因此,兩個(gè)獨(dú)立的測(cè)量是必要的,在為了每個(gè)波長(zhǎng)以求解未知數(shù)N

3、(λ)和k(λ)。如果不能滿(mǎn)足上述要求(對(duì)于不均勻膜[13]或粗糙膜[45]),盡管稍微更復(fù)雜,但大多數(shù)情況下,它仍然可能在模擬“非理想的”薄膜的光學(xué)特性。許多方法已經(jīng)設(shè)計(jì)出用于判定薄膜的折射率。最重要的方法的優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)將被討論,以下三種不同的方法將被區(qū)分使用:(1)至少有兩個(gè)不同的光學(xué)測(cè)量;(2)用色散關(guān)系或者一般的物理去約束近似的依賴(lài)波長(zhǎng)折射率的行為;(3)一個(gè)“虛擬”的測(cè)量作為第二個(gè)變量。在方法中將給予特別注意,僅使用一個(gè)單一的透

4、射光譜(基團(tuán)(2)和(3)),因?yàn)檫@些要求最少的實(shí)驗(yàn)工作。實(shí)驗(yàn)誤差在結(jié)果上的依賴(lài)性將不會(huì)明確地在這里討論;此已經(jīng)詳細(xì)在其他研究中[68]完成。能的,如果薄膜是不完全均勻(組成或厚度)的,這是不可避免的,這進(jìn)一步降低了該方法的總體精度。(3)沒(méi)有簡(jiǎn)單的方法來(lái)測(cè)量垂直入射反射。對(duì)于通常的方法(如上所述),入射角度為7[14]。為了實(shí)現(xiàn)最大的精確度,在隨后的計(jì)算中,這個(gè)角度應(yīng)該考慮,它也使得測(cè)量產(chǎn)生敏感的極化效應(yīng)。(4)從(R,T)測(cè)定的(N

5、,K)是基于一種數(shù)值反轉(zhuǎn)。許多論文已經(jīng)發(fā)表了不同的反演方法[10]和該技術(shù)對(duì)精度的限制[1517],但它往往通常仍保持錯(cuò)誤源和多種解決方案的可能性。備注:如果薄膜的光傳輸由于過(guò)度吸收而極低,那么反射測(cè)量可能是唯一的選擇。在這種情況下,該組合使用兩個(gè)反射測(cè)量,也可以使用不同的入射角或不同的偏振角或者兩者一起使用。許多其他的方法中,使用兩種不同的測(cè)量,已經(jīng)出版。我們只總結(jié)了幾個(gè)這些的例子:(1)對(duì)兩個(gè)不同的膜傳輸測(cè)量薄膜厚度[18]:很明顯

6、,這種方法要求折射率相對(duì)于膜的厚度是獨(dú)立的。此外,它不能被用作常規(guī)分析方法:最常見(jiàn)的,薄膜的厚度必須在兩種不同的厚度值之間進(jìn)行分析。一個(gè)相關(guān)的方法是基于測(cè)量在金屬基板上沉積薄膜的部分[19],再次在薄膜沉積需要額外的研究。(2)橢偏儀:這是一個(gè)非常強(qiáng)大的技術(shù)(特別是橢圓偏振光譜法)用于測(cè)定薄膜與基體的光學(xué)常數(shù)[20]。目前已經(jīng)發(fā)現(xiàn),它在微電子工業(yè)中被廣泛使用[21],特別是對(duì)于半導(dǎo)體晶圓單層厚的氧化物層的分析。該技術(shù)實(shí)力雄厚,其極端表面

7、的敏感性,同時(shí)也是它的弱點(diǎn):在薄膜非常薄的層會(huì)產(chǎn)生污染,從而將產(chǎn)生不同的光學(xué)常數(shù)。近年,橢偏測(cè)量也已在執(zhí)行傳輸模式[22],而不是通常的反射模式。仔細(xì)建模研究層系統(tǒng)橢偏儀測(cè)量的分析肯定可以給良好的效果,在本文的其余部分,我們會(huì)限制自己分光光度法技術(shù)。2.2色散關(guān)系的擬合這是廣泛使用的一種方法,假設(shè)一個(gè)特定的,更多或更少的波長(zhǎng)相關(guān)復(fù)折射率的經(jīng)驗(yàn)色散方程。該方法是用于薄膜的一些使用光學(xué)設(shè)計(jì)和分析的商業(yè)軟件(膜系[23]和薄膜向?qū)24])。

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無(wú)特殊說(shuō)明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶(hù)所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒(méi)有圖紙預(yù)覽就沒(méi)有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫(kù)僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對(duì)用戶(hù)上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對(duì)用戶(hù)上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請(qǐng)與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶(hù)因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

最新文檔

評(píng)論

0/150

提交評(píng)論