雙頻容性耦合等離子體特性的實驗研究.pdf

1、蘇州大學博士學位論文雙頻容性耦合等離子體特性的實驗研究姓名：袁強華申請學位級別：博士專業(yè)：凝聚態(tài)物理指導教師：寧兆元辛煜20090501中文摘要雙頻容性耦含等離子體特性的實驗研究調(diào)控難以實現(xiàn)。EEPF隨氣壓的演變表明，在較低的氣壓下以隨機加熱為主，在較高的氣壓下以碰撞加熱為主。對射頻感應電流的測量表明，在較低的氣壓下還有等離子體串聯(lián)共振的加熱機制存在。等離子體參數(shù)隨徑向位置的分布則表明，等離子體沿徑向位置存在一定程度的不均勻性。2、利用

2、光強標定的發(fā)射光譜技術(shù)，研究了27／2、60／2及60／1356MHzCHF3放電等離子體中，驅(qū)動頻率及功率對反應基團的調(diào)控行為。研究顯示，射頻頻率的選擇對等離子體中反應基團的形成有重要影響。在雙頻CCP中，低頻頻率對反應基團的調(diào)控起著更加重要的作用。在我們的27／2和60／2MHz放電研究中，改變21VIHz射頻功率可以有效地調(diào)控CHF3等離子體中的活性基團F的相對密度及F／CF2相對密度之比。而這種對反應基團的調(diào)控行為在60／135

3、6MHz雙頻CCP中則不能實現(xiàn)。形成這種現(xiàn)象的原因可能是因為，不同雙頻CCP中電子能量分布函數(shù)有差異，而等離子體中的化學反應過程對電子能量分布函數(shù)的變化非常敏感。研究顯示，在27／2MHz和60／2MHz雙頻CCP中，可能具有相似的電子能量分布函數(shù)，而60／1356MHz雙頻CCP中的電子能量分布函數(shù)則有較大差別。3、利用質(zhì)譜技術(shù)對CHF3放電等離子體的反應基團作了研究。質(zhì)譜研究的結(jié)果顯示，在射頻驅(qū)動的CHF3放電等離子體中，存在著豐富