碳化硅磨削去除機理及亞表面裂紋研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、隨著空間光學(xué)系統(tǒng)主鏡口徑的不斷增大,對其主鏡材料機械物理性能要求越來越高。碳化硅是一種理想的空間反射鏡主鏡材料,但由于碳化硅陶瓷高硬度、低斷裂韌性的特點,導(dǎo)致其可加工性很差,磨削加工過程中容易留下亞表面裂紋等損傷,因此深入研究碳化硅陶瓷磨削加工過程中的材料去除機理與亞表面裂紋對提高碳化硅磨削表面質(zhì)量有著重要意義。
　　本文采用顆粒流離散單元法對碳化硅陶瓷材料進行建模,采用仿真實驗的方法校準離散元材料模型并進行磨削過程仿真,研究碳化

2、硅磨削過程中裂紋形成過程以及工藝參數(shù)對加工裂紋與磨削力的影響。進行維氏壓痕試驗,分析碳化硅陶瓷硬度與斷裂韌性,研究維氏壓痕裂紋系統(tǒng);采用維氏壓頭對碳化硅進行微刻劃試驗,研究碳化硅在單顆粒刻劃條件下的材料去除方式。
　　進行碳化硅陶瓷磨削工藝試驗,分析磨削表面形貌與材料去除方式,采用離子束加工技術(shù)對磨削表面進行截面拋光,得到準確的磨削亞表面損傷特征,研究了不同工藝方式與工藝參數(shù)下碳化硅陶瓷磨削亞表面裂紋的形式與深度。研究表明超聲振動

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