飛秒激光微構造硅的光學特性.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、利用飛秒激光在一定氣體環(huán)境下微構造硅表面可在硅表面形成微米量級的準規(guī)則排列尖峰結構。本文研究了表面微構造硅材料的紅外光吸收性質及以表面微構造硅的基底上表面增強喇曼散射(SERS)。在六氟化硫中刻蝕的硅片,光吸收率在整個測量波段都在80％以上,沒有明顯的周期起伏,存氮氣中刻蝕的硅片,光吸收率在可見波段超過95％,在部分紅外波段(8.8-13.3μm)為75％以上,在2-7μm下降到30％。進一步實驗發(fā)現(xiàn),光吸收率和硅表面的尖峰高度及密度有

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