Nd、B共摻入對Ta-NdFeB-Ta薄膜結(jié)構(gòu)及磁性能的影響.pdf

1、密級(jí)桂林電子科技大學(xué)碩士學(xué)位論文題目Nd、B共摻入對TaNdFeBTa薄膜結(jié)構(gòu)及磁性能的影響（英文）（英文）EffectofaddingofNd、BlayersonthestructuremagicpropertiesofTaNdFeBTafilm研究生學(xué)號(hào):1310201007研究生姓名:張本嘉指導(dǎo)教師姓名、職務(wù)指導(dǎo)教師姓名、職務(wù):成鋼（教授）申請學(xué)位門類:工學(xué)碩士學(xué)科、專科、專業(yè)名稱:材料科學(xué)與工程提交論文日期:2016年4月論文答

2、辯日期:2016年6月摘要I摘要摘要本文通過磁控濺射的方法制備了四種組合的NdFeB薄膜，改變薄膜厚度和熱處理工藝，通過各種材料表征手段對薄膜的表面形貌、相結(jié)構(gòu)和磁性能進(jìn)行加測，并探索摻入Nd、B元素對TaNdFeBTa薄膜結(jié)構(gòu)和磁性能的影響。實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示，Ta覆蓋層會(huì)促進(jìn)原子的擴(kuò)散，形成富Nd區(qū)域，更有利于Nd2Fe14B硬磁相的生成，而Ta作為緩沖層時(shí)這種效果不明顯，TaNdFeBTa這種組合更利于薄膜獲得更高的磁性能。經(jīng)過600℃

3、退火0.5h后，TaNdFeBTa薄膜的磁性能隨著NdFeB層厚度先增加后減小，當(dāng)NdFeB層厚度為2m時(shí)，薄膜的矯頑力和剩磁比達(dá)到最大值，分別為3120Oe和0.64。熱處理對NdFeB薄膜形核和生長有著至關(guān)重要的作用，當(dāng)TaNdFeBTa薄膜NdFeB層的厚度為2m時(shí)，經(jīng)過550℃、1h的熱處理后，薄膜中Nd2Fe14B硬磁相的衍射峰值最明顯，且磁性能最佳。鑒于NdFeB薄膜的NdO相和αFe相過多，而Nd2Fe14B硬磁相過少。向