基于MEMS的壓力傳感器研制.pdf

1、機油壓力是發(fā)動機正常工作的一個重要參數(shù),一般采用機油壓力傳感器進行檢測。本文結(jié)合企業(yè)的需求,利用具有靈敏度高、動態(tài)響應(yīng)好、精度高、體積小、價格便宜等優(yōu)點的MEMS芯片研制MEMS壓力傳感器,用于測量柴油發(fā)動機機油潤滑系統(tǒng)壓力,替代機械式壓力傳感器,驅(qū)動動圈式指針壓力表顯示壓力值,當(dāng)機油壓力不足時,點亮壓力報警燈。
　　本文首先深入分析了國內(nèi)外MEMS技術(shù)研宄現(xiàn)狀,依據(jù)機油壓力傳感器的技術(shù)參數(shù)及指標(biāo),確定了機油壓力傳感器的整體設(shè)計方

2、案,并對傳感器的主要電路部分進行詳細設(shè)計。針對MEMS芯片的零點漂移和溫度漂移特性,深入分析了漂移的產(chǎn)生原因以及常見的補償方式的特點,提出了相應(yīng)的方案,進而對軟件標(biāo)定和溫度補償進行詳細設(shè)計。最后論文搭建了傳感器樣機的測試臺架,開展多項傳感器性能測試,并對試驗數(shù)據(jù)進行分析和統(tǒng)計。試驗結(jié)果表明:研制的傳感器能夠達到所需的參數(shù)指標(biāo),其簡單易行的標(biāo)定和補償算法是一種有效的標(biāo)定補償方法,能滿足大批量生產(chǎn)的需求,對產(chǎn)品的系列化和類似產(chǎn)品的設(shè)計制造也