MEMS壓阻式壓力傳感器批量測(cè)試研究.pdf

1、隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，傳感器技術(shù)在國民經(jīng)濟(jì)各部門中的作用和地位日益突出。MEMS傳感器中，壓阻式壓力傳感器發(fā)展最為成熟、最早實(shí)現(xiàn)商業(yè)化，具有靈敏度高、動(dòng)態(tài)響應(yīng)好、準(zhǔn)確度高、易于微型化和集成化、批量化制造的優(yōu)勢(shì)，是當(dāng)前應(yīng)用最為廣泛的壓力傳感器之一。然而，當(dāng)前國內(nèi)對(duì)壓力傳感器的檢測(cè)還以人工檢測(cè)為主，測(cè)試效率低、誤差大、自動(dòng)化水平不高，這種落后、低效的測(cè)試方式已經(jīng)成為影響產(chǎn)品產(chǎn)量和質(zhì)量的關(guān)鍵因素。因此有必要設(shè)計(jì)開發(fā)出一套實(shí)用高效的壓力傳感器批量

2、化、自動(dòng)化的測(cè)試系統(tǒng)。
　　本文基于虛擬儀器技術(shù)，研究了一種由環(huán)境模擬設(shè)備、多路數(shù)據(jù)采集設(shè)備以及測(cè)試軟件組成的壓力傳感器批量測(cè)試系統(tǒng)?？捎脕砼繖z測(cè)在1個(gè)或多個(gè)溫度點(diǎn)下壓力傳感器的靜態(tài)特性參數(shù)，每次最多可實(shí)現(xiàn)128路通道的批量測(cè)試。本文通過采用LabVIEW圖形化編程環(huán)境，編寫了一套集儀器自動(dòng)/半自動(dòng)控制、數(shù)據(jù)采集、數(shù)據(jù)自動(dòng)保存、數(shù)據(jù)分析及測(cè)試報(bào)告生成等功能于一體的測(cè)試軟件。用戶通過一個(gè)高度交互性的虛擬軟面板進(jìn)行操作，就能輕松完成