PSD綜合性能檢測系統(tǒng)的研制.pdf

1、位置敏感探測器(PSD)是一種基于半導(dǎo)體橫向光電效應(yīng)的光電子器件。由于它具有位置分辨率高，響應(yīng)速度快，不需要掃描，處理電路簡單等優(yōu)點，適用于位置、距離、位移、角度及其它相關(guān)物理量的測量，因而在工業(yè)檢測和監(jiān)控、航空對接、機器人傳感等領(lǐng)域獲得了越來越廣泛的應(yīng)用。
　　 本文首先介紹了PSD的分類及國內(nèi)外對PSD的研究發(fā)展現(xiàn)狀及成果，針對目前測量PSD的性能參數(shù)單一性的缺點，提出了一種檢測PSD性能指標的實驗方法，能夠同時測量PSD的

2、位置靈敏度、位置線性度、響應(yīng)靈敏度、光譜響應(yīng)、時間響應(yīng)、暗電流等參數(shù)。
　　 然后，分析了PSD的位敏原理，對PSD的待測參數(shù)進行了簡要分析，對每項參數(shù)的理論指標進行了討論。
　　 在確定PSD的待測參數(shù)后，接下來詳細討論了如何搭建實驗平臺。本文先后從儀器選取、電路設(shè)計、程序編寫等方面入手，將實驗平臺逐層細分，逐個解決。
　　 在本實驗平臺中，光源、單色儀、步進電機和數(shù)據(jù)采集卡都是購買廠家產(chǎn)品，有些還進行二次開發(fā)

3、。使用廠家成熟的產(chǎn)品，有助于提高實驗結(jié)果的精度和降低實驗平臺的復(fù)雜程度。
　　 對于實驗平臺的電路設(shè)計，本文采取模塊化分析的方法，并用Proteus對部分電路模塊進行了仿真，減少了實驗開發(fā)中的誤區(qū)，加快了實驗平臺的開發(fā)進度。
　　 實驗平臺使用MCS-51單片機作為控制電路核心。單片機程序的編寫也是采取模塊化分析，將程序分成幾個部分，逐一討論后，再提出程序的整體設(shè)計方案，采用自下往上的程序設(shè)計理念。
　　 在實驗