差動(dòng)電容式加速度傳感器測(cè)量系統(tǒng)的研究與應(yīng)用.pdf

1、傳感器技術(shù)作為現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)及各項(xiàng)領(lǐng)域的重要技術(shù)基礎(chǔ),是當(dāng)今世界上令人矚目、迅猛發(fā)展的一種高新技術(shù),是一個(gè)國(guó)家科學(xué)技術(shù)發(fā)展和綜合實(shí)力的重要標(biāo)志之一。作為傳感器的一個(gè)重要分支,加速度傳感器受到了越來(lái)越多的關(guān)注。
　　電容式加速度傳感器因其靈敏度高、功耗低、溫漂小、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單可靠、非侵入式安裝等特點(diǎn),一直是加速度傳感器敏感結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)重點(diǎn)。論文在分析變間隙差動(dòng)電容式加速度傳感器原理及傳感器輸出信號(hào)特點(diǎn)的基礎(chǔ)上,針對(duì)微小電容變化量的測(cè)量,設(shè)計(jì)

2、并制作了改進(jìn)型張弛振蕩測(cè)量電路;并對(duì)電路進(jìn)行了性能測(cè)試,測(cè)試結(jié)果表明該電路在靈敏度、分辨率、非線性度、零漂等方面均具有良好性能。針對(duì)測(cè)量電路的輸出信號(hào),設(shè)計(jì)了以 DSP為核心的數(shù)據(jù)采集與處理系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)測(cè)量數(shù)據(jù)的處理及上傳功能。上位機(jī)基于LabVIEW虛擬儀器軟件設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)串口數(shù)據(jù)的讀取、文本與曲線結(jié)合的顯示以及測(cè)量數(shù)據(jù)完整存儲(chǔ)等功能。最后,對(duì)整個(gè)測(cè)量系統(tǒng)進(jìn)行標(biāo)定和應(yīng)用實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證,結(jié)果表明,所設(shè)計(jì)的差動(dòng)電容式加速度傳感器測(cè)量系統(tǒng)運(yùn)行良好,可