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文檔簡介
1、本文針對最基本、最典型的叉指式電容加速度傳感器就其結(jié)構(gòu)分析和讀出電路設(shè)計(jì)兩方面進(jìn)行了詳細(xì)分析,主要包括:結(jié)構(gòu)尺寸對加速度傳感器的影響,給出優(yōu)化設(shè)計(jì)的方法,噪聲在讀出電路中的的考慮,設(shè)計(jì)了低噪聲的接口電路.本文根據(jù)已有的加速度傳感器模型,分析了加速度傳感器敏感元件部分設(shè)計(jì)需要考慮的各個(gè)方面,并重點(diǎn)研究了電容加速度傳感器的結(jié)構(gòu)、工作原理、力學(xué)、電學(xué)特性等.利用有限元分析軟件ANSYS對加速度傳感器敏感元件結(jié)構(gòu)進(jìn)行了計(jì)算機(jī)模擬.通過靜力學(xué)分析
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