WO3薄膜電致變色器件的制備及性能研究.pdf

1、電致變色是指材料顏色在外加電場(chǎng)的作用下發(fā)生可逆變化的現(xiàn)象。三氧化鎢(WO3)是一種重要的電致變色功能材料,WO3薄膜變色前后具有較大的可見光透過率變化幅度、優(yōu)良的可逆性、較低的成本、較長(zhǎng)的循環(huán)使用壽命以及環(huán)境友好等優(yōu)點(diǎn),具有廣泛的應(yīng)用前景。
　　本文采用射頻磁控反應(yīng)濺射法,以純度為99.99％的鎢靶為濺射靶材,在玻璃襯底上制備了WO3薄膜,氧氬比為5sccm:25sccm,工作氣壓為1.5Pa,所有樣品退火氣氛均為氬氣,溫度為40

2、0℃,保溫時(shí)間為60min。研究了不同濺射功率對(duì) WO3薄膜的物相組成以及表面形貌的影響。
　　采用Al2 O3、ZnO混合粉末燒結(jié)制備 Al摻雜 ZnO(AZO)陶瓷靶材,通過射頻磁控濺射方法在玻璃襯底上制備 AZO薄膜。詳細(xì)研究了AZO薄膜制備過程中工作氣壓、濺射功率、退火溫度對(duì) AZO薄膜光學(xué)以及電學(xué)性能的影響。最佳的磁控濺射制備工藝:工作氣壓為0.5Pa,射頻濺射功率為120W,氧氬比為0sccm:25sccm。玻璃襯底上

3、制備 AZO的最優(yōu)退火工藝為:退火氣氛為氬氣,退火溫度為400℃,保溫時(shí)間為60min。制備的AZO薄膜最低的電阻率為7.88×10-4Ω·cm。初步研究了AZO薄膜的節(jié)能性能。
　　采用Li2CO3、TiO2以及La2O3粉末制備鈦酸鑭鋰(LLTO)陶瓷靶材。通過射頻磁控濺射制備 LLTO薄膜,并測(cè)試了LLTO薄膜的離子電導(dǎo)率。
　　以AZO薄膜作為透明導(dǎo)電層材料,在ITO襯底上制備了WO3薄膜,組裝電致變色器件并進(jìn)行測(cè)試