氮化銅和銅基底上化學(xué)氣相沉積法制備石墨研究.pdf

1、石墨材料的基本單元是石墨烯。石墨烯是由單層碳原子規(guī)則排列成蜂窩狀晶格結(jié)構(gòu)的一種碳質(zhì)新材料。它具有一些獨(dú)特的物理特性，這些特性使得它在新一代電子、光電器件上將會得到廣泛的應(yīng)用。石墨烯的出現(xiàn)引發(fā)了全世界的研究熱潮，但對于如何低成本、大規(guī)模制備出高質(zhì)量的石墨烯，依舊是石墨烯發(fā)展的瓶頸問題，這也促使許多科學(xué)家致力于嘗試使用各種方法來制備理想的石墨烯。
　　為了在石墨材料的制備上進(jìn)行進(jìn)一步探索，本論文嘗試?yán)镁哂辛己霉怆娦阅艿牡~薄膜作襯

2、底，使用化學(xué)氣相沉積法，用乙醇作碳源進(jìn)行石墨材料的制備。鑒于氮化銅在低溫下就會分解成銅和氮?dú)獾奶匦裕瑫r使用銅膜進(jìn)行對照組實(shí)驗(yàn)。
　　本論文的研究主要著重于以下兩點(diǎn)：一是低溫時，能否在氮化銅薄膜上生長出碳材料以及生長出的碳材料的特點(diǎn)；二是高溫時，在氮化銅分解銅和濺射銅薄膜上能否生長出碳材料以及它們的區(qū)別。
　　實(shí)驗(yàn)的結(jié)果比較令人滿意：低溫的時候，在氮化銅薄膜上合成出了碳材料。一方面這為低溫合成石墨材料提供了又一可能方案，另一