PSD特性研究及陣列器件研制.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、浙江大學碩士學位論文PSD特性研究及陣列器件研制姓名：陳冬嚴申請學位級別：碩士專業(yè)：光學工程指導教師：林斌20050121浙江大學碩卜學位論文AbstractPositionSensitiveDetector(PSD)isaphotoelectricdeviceutilizingthelateralphotoelectriceffect.PSDhastheadvantagessuchashigherresolutionfastrespo

2、nsespeedandsimpleperipheralcircuitandissuitablefortheprecisemeasurementofpositiondistance.displaceangleandotherrelevantphysicalvariable.InthefirstsectiontherecentdomesticandoverseasR&Dandapplicationconditionsandthetradit

3、ionaltheoryaboutPSDareintroduced.Basedonthesecalculationsitisfoundedthatthedelaytunewhentheelectrodebegintoresponseispositivelyrelatedwiththedistancebetweenthepositionwhereexcitationsilluminatedandthegeometricalcenterof1

4、DPSD.itisalsopointedoutthatwhenutilizedinhighspeedtransientdetectionmodulationrateis1(3.75Te).Finallytheconclusiontheu即erlimitofexcitingbeamthatPSDpositionresponseisbarycenteroftheexcitationbeamsandnotrelatedwiththeshape

5、andthedurationoftheexcitationsisconfirmedItisqutenecessarytofindouthowPSDconfigurationwillaffectPSDwavelengthresponsibilitybecausePSDisakindofwavelengthsensitivephomelectronicdevicewhichislimitedbyquantumeffect.Inthispap

6、ertheinfluenceofalllayersdepthofPSDPNjunctionanditssurfacereflectivitytoandoptimizewavelengthresponsibilityisdeeplystudiedtoofferguidancetodesignPSDforsomespecifiedapplicationsLinearityisoneofthekeycharacteristicandisstu

7、diedinthefollowingsectionusingelectricsimulationsoftwareandthePSDbounderyresistanceloadandsurfacediffluentresistanceareconsidered.Inthenextsectiontheworkof4x4PSDarraydesigningandfabricationisintroducedandthedarkcurrentre

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