單刀雙擲的RFMEMS開關(guān)的設(shè)計與研究.pdf

1、近年來，射頻微電子機械系統(tǒng)(RF MEMS)技術(shù)在現(xiàn)代通信領(lǐng)域中越來越受到重視。與傳統(tǒng)的半導(dǎo)體開關(guān)相比，RF MEMS 開關(guān)具有低插入損耗、高隔離度、線性度好等優(yōu)點。隨著RF MEMS 開關(guān)研究地深入及可靠性的提高，其市場會越來越廣闊。本文設(shè)計了四種單刀雙擲RF MEMS開關(guān)，這四種開關(guān)都是建立在并聯(lián)固支梁式開關(guān)和串聯(lián)懸臂梁式單刀單擲開關(guān)的基礎(chǔ)上。通過對單刀雙擲開關(guān)的討論與分析，相同的原理可以應(yīng)用于包含有單刀多擲和雙刀雙擲的開關(guān)陣列中。

2、本文首先分析了并聯(lián)和串聯(lián)兩種單刀單擲開關(guān)的工作原理，在保證特征阻抗匹配和深入研究傳輸線影響因素的基礎(chǔ)上，先進行兩種單刀單擲開關(guān)的設(shè)計。然后根據(jù)這兩種單刀單擲開關(guān)設(shè)計出了四種不同結(jié)構(gòu)的單刀雙擲開關(guān)。單刀雙擲開關(guān)中兩個開關(guān)的距離以及輸入端的結(jié)構(gòu)是設(shè)計時需要重點考慮的。兩種并聯(lián)設(shè)計的單刀雙擲開關(guān)均應(yīng)用于20-40GHz，串聯(lián)設(shè)計的開關(guān)應(yīng)用于0-20GHz，而另一種單刀雙擲開關(guān)，一端采用的并聯(lián)固支梁式開關(guān)，另一端采用的串聯(lián)懸臂梁式開關(guān)，當兩個輸