基于激光干涉測長的線紋檢測技術(shù).pdf

1、隨著機械制造、建筑工程等產(chǎn)業(yè)的不斷發(fā)展，各類線紋尺在精密機床、高精度計量儀器和測繪系統(tǒng)等領(lǐng)域被廣泛運用。對各類線紋類量具的量值傳遞提出了更高要求，需要更方便直接，且測量精度滿足檢測要求的測量裝置。
　　對一、二等線紋尺，國內(nèi)已用激光比長儀進行直接測量。而對于廣泛使用的三等類線紋尺，目前國內(nèi)各計量部門大都使用相對法，在2m或3m測長機上采用比較法測量，或者直接在測長機、萬能工具顯微鏡讀數(shù)。測量結(jié)果會受環(huán)境、材料和測回等諸多因素影響，

2、且檢測工作效率低下。
　　本課題旨在研制一個新裝置，可以對三等類線紋尺進行直接測量。研制和實驗工作主要有:選用雙頻激光干涉儀（英國雷尼肖公司ML10）作為主要測量方法。利用自帶環(huán)境自動修正系統(tǒng)，得到標準溫度下的測量值；整體設(shè)計采用5m長大理石和精密導(dǎo)軌為主要結(jié)構(gòu)，結(jié)合微調(diào)結(jié)構(gòu)和計算機成像及控制系統(tǒng)，對線紋進行瞄準；對不同外形和材質(zhì)的線紋尺設(shè)計了不同的夾具和固定機構(gòu)；編制測量軟件，實現(xiàn)對激光干涉儀測量結(jié)果的直接采樣。便于保存和查詢測

3、量原始記錄；用比對和校準兩種方法對裝置進行實驗驗證。比對是通過選用兩種尺進行測量，與國家計量院的測得值和測量不確定度進行比對得到的。校準是使用一等線紋尺和另一臺激光干涉儀，對裝置1m和全長的示值誤差進行校準；對裝置中的大理石平臺和導(dǎo)軌直線度進行了測量和評價；運用不確定度管理程序和灰理論兩種方法，對線紋測量的不確定度進行了評定。
　　本裝置可以提高三等類線紋尺檢測的測量精度和工作效率，并擴展了線紋尺的檢測項目，可以進行非標的三等類線