基于ABAQUS的滾動微壓印仿真.pdf

1、納米壓印技術(shù)自從1995年美國的華裔教授周郁提出以來，已經(jīng)有越來越多的研究單位和相關(guān)的研究人員對其進行不斷發(fā)展。因其具有花費低，產(chǎn)品分辨率高，加工周期短的優(yōu)點而得到越來越多的應(yīng)用。為了克服其不能連續(xù)加工，以及加工效率不夠高的缺點，于1998年提出了滾動壓印技術(shù)。滾動壓印技術(shù)繼承了平面壓印技術(shù)的優(yōu)點，同時能夠進行連續(xù)加工和批量生產(chǎn)，加工效率得到了很大提高，加工花費更加低廉。因此，其加工出來的微結(jié)構(gòu)產(chǎn)品得到了極大的應(yīng)用。
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2、借助于有限元仿真軟件ABAQUS，對滾動壓印過程進行了模擬，研究加工過程參變量，例如滾子圖案的大小，模型圖案占空比，滾動速度以及聚合物材料性質(zhì)對于壓印質(zhì)量的影響。同時，仿真研究了滾動速度，滾子模型半徑對于壓印力的影響。仿真結(jié)果表明，模型圖案的占空比對于壓印圖形的質(zhì)量具有非常大的影響，當占空比比較小時，聚合物材料的填充料比較低，也即此時壓印圖案質(zhì)量較低。增大圖案的占空比，聚合物材料的填充率會增大，也即壓印圖案的質(zhì)量得到提高。當占空比足夠大