基于微機電系統(tǒng)的硅壓力傳感器性能改進研究.pdf

1、傳感器技術是現(xiàn)代科學技術發(fā)展水平的重要標志，它與通信技術、計算機技術構成現(xiàn)代信息產業(yè)的三大支柱。隨著現(xiàn)代科學技術，特別是微電子技術和信息產業(yè)技術的發(fā)展，以及電腦的普及，傳感器在新的技術革命中的地位和作用將更加突出，一股競相開發(fā)和應用傳感器的熱潮已在世界范圍內掀起。在各種傳感器中，基于MEMS（Micro Electronic Mechanism System）的硅壓力傳感器是應用最為廣泛的一種。我國的傳感器產業(yè)與世界存在巨大差距，目前的

2、傳感器技術難以完全滿足國家需求，傳感器技術面臨技術落后瓶頸，需新的突破。
　　本文首先對硅壓阻式壓力傳感器的工作原理進行分析，接著從傳感器的襯底制備，壓力傳感器敏感管芯制備的擴散，氧化，光刻入手，選擇合適的工藝與工藝參數(shù)，以期減少傳感器的非線性，降低其溫漂與零漂,改善其性能。
　　通過對方形、矩形和圓形膜片的最大應力、撓度以及膜片長寬比對輸出的影響，選擇了方形敏感薄膜；對于壓敏電阻條的設計主要從摻雜類型，摻雜濃度，結深及壓敏