CMOS光柵測量系統(tǒng)研究.pdf

1、自上世紀(jì)五十年代以來,隨著光柵刻劃技術(shù)和電子技術(shù),以及計(jì)算機(jī)的發(fā)展,計(jì)量光柵技術(shù)成為一項(xiàng)專門的技術(shù)并得到迅速發(fā)展.目前計(jì)量光柵技術(shù)已經(jīng)比較成熟,光柵長度測量系統(tǒng)已經(jīng)廣泛應(yīng)用到工業(yè)生產(chǎn)和國防的諸多領(lǐng)域.然而隨著計(jì)量測試技術(shù)的發(fā)展和實(shí)際應(yīng)用要求的不斷提高,更高分辨率和更簡便易行的光電位移精密測量裝置有了新的市場需求.本文正是從這一需求出發(fā),提出了一種全新的以光譜法為基礎(chǔ)以CMOS為圖像接收器件的高分辨率測量系統(tǒng).光譜法測量系統(tǒng)以物理光學(xué)的基

2、本理論作為依據(jù),以CMOS作為光譜圖像接收器件,提出了一種全新的細(xì)分方法.根據(jù)某一級光譜能量在標(biāo)尺光柵移動(dòng)一個(gè)節(jié)距的能量的變化情況,實(shí)現(xiàn)高分辨率的細(xì)分和測量.論文同時(shí)闡述了用計(jì)算機(jī)處理圖像和完成軟件細(xì)分的測量方法.論文首先介紹了光柵測量系統(tǒng)的原理,分析了各種測量方法,描述了光電位移精密測量儀器目前的發(fā)展?fàn)顩r,展望了今后的發(fā)展趨勢.重點(diǎn)對光譜法實(shí)現(xiàn)高分辨率測量系統(tǒng)研究的硬件組成和軟件方法的原理進(jìn)行了詳細(xì)闡述.硬件部分包括光源、可調(diào)節(jié)狹縫、