測微儀測頭的動態(tài)性能研究.pdf

1、掃描式電感測微儀測頭因其測量精度高、量程大、安裝使用方便,而在CNC齒輪測量中心、觸針式輪廓儀、圓度儀、圓柱度儀及幾何形位誤差測量中心等精密量儀上廣泛使用.然而,以往人們對電感測微儀的研究僅限于其靜態(tài)性能,隨著其應用領域的擴大及測量效率的提高,測微儀測頭由以往測量靜態(tài)或準靜態(tài)信號擴展到測量動態(tài)信號,這就對測頭的動態(tài)響應性能提出了要求.測微儀測頭在測量工件時屬于接觸式測量,它存在的主要問題是當接觸式測頭快速掃描工件時,被測信號的迅速變化可

2、能會使測頭脫離工件,這樣測頭的輸出信號就不能正確反映被測信號的真實情況.因此,找出測頭的測量臨界脫離頻率、分析影響臨界頻率的因素,并以此來改善測頭的動態(tài)響應性能是研究接觸式測頭動態(tài)測量特性的關鍵內(nèi)容,對于提高其測量效率和測量精度具有很強的實際意義.該文以平行簧片式測微儀測頭的結構為例,建立了測頭在動態(tài)掃描測量時的數(shù)學模型.并對其動態(tài)響應性能進行了深入地理論分析.同時,研制出了測頭動態(tài)性能測試試驗臺,對測頭的動態(tài)特性進行了系統(tǒng)的實驗測試,