光柵測長儀動態(tài)誤差測量實驗研究.pdf

1、　　目前光柵測量系統(tǒng)的靜態(tài)校準技術(shù)已經(jīng)發(fā)展較為成熟，但是，這種校準技術(shù)沒有考慮測量系統(tǒng)的真正的動態(tài)運作模式，由于光柵系統(tǒng)在測量過程中往往是處于運動狀態(tài)，在整個運作過程中動態(tài)效果對位置誤差的影響是不可避免的，測量靜態(tài)特性并不能完全反映其動態(tài)特性，所以本文對光柵測量系統(tǒng)的動態(tài)誤差做了些研究?！　≡O(shè)計了一套光柵測量系統(tǒng)位置動態(tài)誤差測量的實驗系統(tǒng)，以現(xiàn)有的光柵測長儀為研究對象，高精度雙頻激光干涉儀作為校準系統(tǒng)。利用光柵測長儀編碼器產(chǎn)生的A-q

2、uad-B脈沖信號觸發(fā)激光干涉儀進行同步動態(tài)數(shù)據(jù)采集，由激光干涉儀軟件(根據(jù)ISO230-2標準)來獲取和顯示位置誤差數(shù)據(jù)，并同步繪出非常真實詳細的動態(tài)誤差圖。最后在不同的運行速度下給出了光柵測長儀動態(tài)誤差的實驗結(jié)果并進行了分析?！　∽詈髮嶒灲Y(jié)果所得的動態(tài)誤差數(shù)據(jù)用傅立葉變換和小波變換方法進行動態(tài)誤差分解與溯源，分析找出組成動態(tài)誤差的真正誤差源。為動態(tài)誤差修正和補償提供了基礎(chǔ)；然后簡要介紹了基于標準量插入的動態(tài)測量誤差的貝葉斯建模預(yù)