光柵測(cè)長(zhǎng)儀動(dòng)態(tài)誤差測(cè)量實(shí)驗(yàn)研究.pdf

1、　　目前光柵測(cè)量系統(tǒng)的靜態(tài)校準(zhǔn)技術(shù)已經(jīng)發(fā)展較為成熟，但是，這種校準(zhǔn)技術(shù)沒有考慮測(cè)量系統(tǒng)的真正的動(dòng)態(tài)運(yùn)作模式，由于光柵系統(tǒng)在測(cè)量過程中往往是處于運(yùn)動(dòng)狀態(tài)，在整個(gè)運(yùn)作過程中動(dòng)態(tài)效果對(duì)位置誤差的影響是不可避免的，測(cè)量靜態(tài)特性并不能完全反映其動(dòng)態(tài)特性，所以本文對(duì)光柵測(cè)量系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)誤差做了些研究?！　≡O(shè)計(jì)了一套光柵測(cè)量系統(tǒng)位置動(dòng)態(tài)誤差測(cè)量的實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)，以現(xiàn)有的光柵測(cè)長(zhǎng)儀為研究對(duì)象，高精度雙頻激光干涉儀作為校準(zhǔn)系統(tǒng)。利用光柵測(cè)長(zhǎng)儀編碼器產(chǎn)生的A-q

2、uad-B脈沖信號(hào)觸發(fā)激光干涉儀進(jìn)行同步動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)采集，由激光干涉儀軟件(根據(jù)ISO230-2標(biāo)準(zhǔn))來獲取和顯示位置誤差數(shù)據(jù)，并同步繪出非常真實(shí)詳細(xì)的動(dòng)態(tài)誤差圖。最后在不同的運(yùn)行速度下給出了光柵測(cè)長(zhǎng)儀動(dòng)態(tài)誤差的實(shí)驗(yàn)結(jié)果并進(jìn)行了分析?！　∽詈髮?shí)驗(yàn)結(jié)果所得的動(dòng)態(tài)誤差數(shù)據(jù)用傅立葉變換和小波變換方法進(jìn)行動(dòng)態(tài)誤差分解與溯源，分析找出組成動(dòng)態(tài)誤差的真正誤差源。為動(dòng)態(tài)誤差修正和補(bǔ)償提供了基礎(chǔ)；然后簡(jiǎn)要介紹了基于標(biāo)準(zhǔn)量插入的動(dòng)態(tài)測(cè)量誤差的貝葉斯建模預(yù)