智能電容測(cè)微儀系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)的研究.pdf

1、超精密電容測(cè)微儀是一種非接觸式精確測(cè)量微小相對(duì)位移、微振動(dòng)和微小尺寸的儀器，具有溫度穩(wěn)定性好、測(cè)量范圍大、測(cè)量精度高、動(dòng)態(tài)響應(yīng)好、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單等一系列優(yōu)點(diǎn)，在航空、航天、工業(yè)生產(chǎn)加工、超精密測(cè)量等領(lǐng)域中具有廣泛應(yīng)用。 隨著科學(xué)技術(shù)和工業(yè)的飛速發(fā)展，對(duì)精密測(cè)量?jī)x器的分辨力、精度和穩(wěn)定性要求也越來(lái)越高。JDC系列電容測(cè)微技術(shù)作為非接觸式測(cè)量的手段，由于采用的是早期的電路器件，這些器件在可靠性和精度指標(biāo)等方面都比較落后，模擬電路復(fù)雜，調(diào)試

2、困難，在儀器的智能化、小型化方面還存在較大的差距，功能不夠完善，本課題針對(duì)這些問(wèn)題進(jìn)行了一系列研究工作。 本文對(duì)電容測(cè)微儀工作原理及其關(guān)鍵技術(shù)做了系統(tǒng)地、詳盡地分析論述，提出了一種基于單片機(jī)的小型化智能化電容測(cè)微儀設(shè)計(jì)的新方案。文中提出電容傳感器測(cè)頭設(shè)計(jì)中的相關(guān)技術(shù)；對(duì)主放大電路的電路參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)，進(jìn)行了精密整流濾波電路的改進(jìn)設(shè)計(jì)和器件優(yōu)化；采用數(shù)字合成技術(shù)的方法設(shè)計(jì)了精密穩(wěn)幅振蕩器，提高了精密穩(wěn)幅振蕩器的精度。采用單片機(jī)C