高精度電容測微儀關鍵技術的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、該文圍繞國家自然科學基金重點項目"望遠鏡主動光學技術的預研"(以下簡稱"預研")中對納米級微位移定位傳感器提出的要求展開深入的研究.由于電容傳感器具有非接觸式測量、測量范圍大、線性好、分辨力高等優(yōu)點,該項目選用電容測微儀完成高精度的定位.它要求電容測微系統(tǒng)在-25um~+25um的測量范圍內分辨力達到5nm/mV,線性度為5‰,穩(wěn)定性好于20mV/h,傳輸距離為5米,在溫度變化10℃/3h,相對溫度70~80﹪的環(huán)境條件下對"預研"的實

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