光柵拼接裝置微位移機構的研究.pdf

1、衍射光柵是一種精密的分光元件，是各種光譜儀器的核心器件。目前，天文物理學以及高能激光脈沖等研究領域所需的光柵已達到了米量級。因此，大口徑光柵的制備十分迫切，大口徑光柵的研制也一直是國際光柵領域的重大課題之一。由于直接制作單塊大面積光柵存在諸多技術上的困難，而且制作成本昂貴、加工周期長，需要探索采用其他方法來獲得大面積光柵。最常見的是采用多塊光柵進行拼接或者全息拼接技術獲得。要達到光柵拼接的高精度要求，就要設計出能夠進行高精度調整的拼接裝

2、置。本文在國內外拼接光柵已取得成果的基礎上，介紹了我校研制的以微位移機構為核心的光柵拼接裝置，并對微位移拼接調整的實現(xiàn)進行了全面的研究。
　　首先，回顧了國內外光柵拼接的現(xiàn)狀及采用的調節(jié)機構，介紹了微位移機構的發(fā)展及控制現(xiàn)狀，設計了應用于光柵拼接的基于壓電陶瓷驅動柔性鉸鏈的微位移機構；分析了壓電陶瓷微位移驅動器的性能，進行了閉環(huán)控制系統(tǒng)設計以降低壓電誤差對運動精度的影響；研究了微驅動模塊的預緊和位移特性。
　　其次，在分析并