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1、本文以精密機(jī)械與精密儀器的關(guān)鍵技術(shù)之一-微位移技術(shù)為研究對(duì)象，介紹了包括直線電機(jī)式微位移機(jī)構(gòu)、機(jī)械傳動(dòng)式微位移機(jī)構(gòu)、扭輪摩擦傳動(dòng)式微位移機(jī)構(gòu)、彈性變形傳動(dòng)式微位移機(jī)構(gòu)、壓電元件與電致伸縮式微位移機(jī)構(gòu)、熱變形式微位移機(jī)構(gòu)、磁致伸縮式微位移機(jī)構(gòu)、柔性鉸鏈?zhǔn)轿⑽灰茩C(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)在內(nèi)的多種微位移機(jī)構(gòu)，闡述了各機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)、原理、特點(diǎn)、應(yīng)用及發(fā)展現(xiàn)狀。同時(shí)本文以上述研究為基礎(chǔ)著重闡述了壓電/電致伸縮微位移器件和摩擦傳動(dòng)微進(jìn)給機(jī)構(gòu)兩種微位移機(jī)構(gòu)，并以實(shí)際
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