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文檔簡介
1、本文對精密位移控制系統(tǒng)進(jìn)行了研究。精密位移控制研究以激光打標(biāo)技術(shù)為應(yīng)用背景，以壓電陶瓷(PZT)振鏡為研究目標(biāo)。由于內(nèi)在的滯回非線性，壓電陶瓷(PZT)振鏡驅(qū)動器會在開環(huán)系統(tǒng)中引起定位誤差，在閉環(huán)系統(tǒng)中造成系統(tǒng)不穩(wěn)定。為了克服這個問題，將小腦模型神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)(CMAC)前饋和PD反饋控制器相結(jié)合，提出了一種實時滯回補(bǔ)償控制策略，以期實現(xiàn)壓電陶瓷振鏡驅(qū)動器的精密位移跟蹤控制。CMAC控制器是根據(jù)PZT的滯回特性構(gòu)造的，通過反饋誤差學(xué)習(xí)方案在線
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