工件臺激光干涉儀測量誤差模型研究.pdf

1、多自由度精密運動臺是集成電路設(shè)備、精密加工機床等的關(guān)鍵部件，具有速度大、精度高的特性，其運動精度直接影響整機的性能，因此多自由度精密運動臺的高速高精運動控制十分關(guān)鍵。實現(xiàn)多自由度精密運動臺的高精度運動控制，需要建立準確的測量模型。在這些模型和算法中存在大量的參數(shù)需要辨識與校準，參數(shù)辨識與校準直接影響光刻機工件臺的運動精度。本文以工件臺測量系統(tǒng)中的6軸雙頻激光干涉儀為對象，定量分析各種測量誤差，對阿貝誤差和余弦誤差進行了數(shù)學建模。

2、 阿貝誤差和余弦誤差模型通過分區(qū)的方式計算工件臺與雙頻激光干涉儀之間每個光軸的四條光束在各區(qū)間的光程，再結(jié)合權(quán)重因子得到X、Y向6個光軸的光程。以在工件臺傾斜和工件臺旋轉(zhuǎn)下的X、Y向6個光軸光程為基礎(chǔ)，計算出干涉儀光束傾斜時工件臺同時傾斜和干涉儀光束旋轉(zhuǎn)時工件臺同時旋轉(zhuǎn)的X、Y向6個光軸光程，通過疊加換算得到含有機器常數(shù)的誤差模型。 根據(jù)實驗數(shù)據(jù)擬合出誤差模型中的各個機器常數(shù)，對該誤差模型的正確性和有效性進行驗證，在光刻機的樣機