高氣壓輝光放電及其開關電源的研究.pdf

1、微空心陰極放電(MHCD)是在普通空心陰極放電的基礎上提出的一種高氣壓下亞毫米級微放電技術。將MHCD作為大體積輝光放電的外部電離源(即等離子體源)，可以解決高氣壓下大體積輝光放電不穩(wěn)定的問題。本文首先對微空心陰極放電基本原理的研究進展進行了綜述，然后詳細論述了微空心陰極維持輝光放電(MCSD)和放電等離子體源，以及MCSD的放電參數(shù)和運行方式對產生大體積高壓輝光放電等離子體源的影響；最后，再對微空心陰極維持輝光放電的結構特點進行了詳細

2、介紹，并對其放電特性進行了實驗討論。 在MCSD實驗的基礎上，研制出可對MCSD氣體放電模式（連續(xù)/脈沖）和輸出功率進行調控的開關電源。文中詳細論述了開關電源的主電路、控制電路和驅動電路的組成及設計。此外，這種開關電源還可以跟單片機、微機等其他外部控制設備相連。此開關電源采用全橋軟開關技術，串聯(lián)諧振并聯(lián)輸出，四個MOSFET管為主控制元件，實現(xiàn)了高頻工作，響應快速。脈沖模式工作時避免了開關管的硬開關，減小了高次諧波對電網干擾；無