超精密機(jī)床動(dòng)力學(xué)建模及分析.pdf

1、隨著市場需求的變化及發(fā)展，微結(jié)構(gòu)光學(xué)元件已成為數(shù)碼相機(jī)、傳真機(jī)、掃描儀等光電產(chǎn)品的關(guān)鍵零部件?；诳焖偎欧都?fasttoolservo,FTS)的單點(diǎn)金剛石車削因不需要任何后續(xù)加工處理就可加工出具有納米級(jí)表面粗糙度的微結(jié)構(gòu)光學(xué)元件而備受矚目，而車削過程中刀具和工件之間的相對(duì)振動(dòng)被認(rèn)為是影響加工元件表面質(zhì)量的主要因素。本文以哈爾濱工業(yè)大學(xué)精密工程研究所自行研制的臺(tái)式納微米車床為研究對(duì)象，建立機(jī)床的動(dòng)力學(xué)模型，分析超精密加工過程中動(dòng)態(tài)切

2、削力對(duì)刀具和工件之間相對(duì)位移的影響及機(jī)床對(duì)地基振動(dòng)的響應(yīng)。
　　首先分析了機(jī)床動(dòng)力學(xué)研究的主要內(nèi)容方法，通過對(duì)比選用集中參數(shù)法建立車床的動(dòng)力學(xué)模型，對(duì)臺(tái)式超精密車床關(guān)鍵部件進(jìn)行了介紹，并根據(jù)車床結(jié)構(gòu)特點(diǎn)并將其劃分為5個(gè)部件。
　　第二，機(jī)床各部分之間結(jié)合部的剛度和阻尼是建立機(jī)床動(dòng)力學(xué)模型的關(guān)鍵兩個(gè)參數(shù)。通過理論計(jì)算求得靜壓氣浮導(dǎo)軌剛度，并通過實(shí)驗(yàn)和理論計(jì)算結(jié)合的方法得出了靜壓氣浮導(dǎo)軌和FTS的阻尼。
　　第三，機(jī)械系統(tǒng)