mau系統(tǒng)

1、MAU System Introduction,2004-03-15,HAPPY_TANG,1、MAU的分布2、MAU工作原理,目錄,MAU：Make up air Unit 新風(fēng)系統(tǒng),新風(fēng)系統(tǒng)是為無塵室補(bǔ)充新風(fēng)，保證無塵室內(nèi)一定的正壓；調(diào)節(jié)無塵室的濕度并對無塵室的溫度控制起到一定的作用。MAU供風(fēng)分為FAB4的黃光區(qū)和一般制程區(qū)。FAB6C的測試區(qū)和非銅制區(qū)。,,,1、MAU的分布（FAB4 & FAB6C),55

2、76;C,85 °C,19 °C,13 °C,60 °C,2.MAU工作原理,Fab4 無塵室內(nèi)空氣循環(huán)示意圖,DAMPER:氣動風(fēng)閥與風(fēng)機(jī)連鎖,風(fēng)機(jī)開啟時(shí)風(fēng)閥打開,風(fēng)機(jī)停止運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)風(fēng)閥關(guān)閉.起到保護(hù)空調(diào)機(jī)組件和保證MAU送風(fēng)管路的封閉性.初中效過濾器:分別為F5和F7.對新風(fēng)進(jìn)行初級和中級的過濾,把大顆粒的塵埃過濾掉,提高高效和超高效過濾器的使用壽命,保證無塵室潔凈度.PREHEATER:對新

3、鮮空氣進(jìn)行預(yù)熱,使之能夠滿足空氣處理的要求,同時(shí)保護(hù)盤管在低溫的室外條件下不被凍壞.COOLING COIL:冷盤管,對室外空氣進(jìn)行冷卻和除濕,使得送進(jìn)潔凈室的空氣能夠滿足濕度和溫度的要求.REHEATER:對經(jīng)過預(yù)熱和冷卻盤管處理的空氣進(jìn)行再熱,使之能夠滿足送風(fēng)的要求.FAN:MAU機(jī)組和MAU送風(fēng)的動力來源.,MAU 主要組件功能說明,7. Attenuator :消音器;減小氣流震動,消除空調(diào)機(jī)帶來的噪音,以滿足無塵室對噪聲