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1、p.1,Non-Classical CMOS,Dr. Rational YouIEK/ITRI2002/07/11,Source: http://www.materialsnet.com.tw (2002/05),p.2,Outline,SOI CMOS FETDouble Gate MOSFET3 Double Gate MOSFETsDG-MOSFET-Type 1 (Planar Device)DG-MOSFET-Ty
2、pe 2 (Vertical Device) Processes of DG-MOSFET-Type 2 (Vertical Device)Processes of FinFET3D Structure of FinFET3D Structure of Strain MOSFETMobility of Strain MOSFET (Improve 70%),Source: http://www.materialsnet.com
3、.tw (2002/05),p.3,SOI CMOS FET,(a) Fully Depleted SOI (b) Partially Depleted SOI (PD SOI) (c) Double Gate/Back Gate CMOS,Source: http://www.materialsnet.com.tw (2002/05),p.4,Double Gate MOSFET,(a) Bulk MOSFET(b) Ultr
4、a-Thin Body MOSFET(c) Double Gate MOSFET,Source: http://www.materialsnet.com.tw (2002/05),p.5,3 Double Gate MOSFETs,,Source: http://www.materialsnet.com.tw (2002/05),p.6,DG-MOSFET-Type 1 (Planar Device),,Source:Wong, C
5、han, Taur (IEDM, 1997); http://www.materialsnet.com.tw (2002/05),p.7,DG-MOSFET-Type 2 (Vertical Device),,Source: http://www.materialsnet.com.tw (2002/05),p.8,Processes of DG-MOSFET-Type 2 (Vertical Device)-1,,Source: ht
6、tp://www.materialsnet.com.tw (2002/05),p.9,Processes of DG-MOSFET-Type 2 (Vertical Device)-2,,Source: http://www.materialsnet.com.tw (2002/05),p.10,Processes of FinFET (i),,Source: http://www.materialsnet.com.tw (2002/05
7、),p.11,Processes of FinFET (ii),,Source: http://www.materialsnet.com.tw (2002/05),p.12,3D Structure of FinFET,,Source: Hisamoto et al., IEDM (1998); Huang et al., IEDM (1999); http://www.materialsnet.com.tw (2002/05),p.1
8、3,3D Structure of Strain MOSFET,,Source: http://www.materialsnet.com.tw (2002/05),p.14,Mobility of Strain MOSFET (Improve 70%),,Source: http://www.materialsnet.com.tw (2002/05),p.15,Reference,1. International Technology
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10、Wong et al., IEDM, 427(1997)7. S-H Oh et al., IEDM ,65 (2000)8. D. Hisamoto et al., IEEE T-ED, 47, 2320 (2000)9. X. Huang et al.,IEDM,67(1999)10. K. Rim et al., Symp. VLSI Technology, 59 (2001),Source: http://www.mat
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