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1、液態(tài)磷擴散工藝以及設(shè)備基本操作一準備工作A.打開總電源,聽到報警聲后按下主面板上‘消警’,信號燈ABC亮。B.打開循環(huán)水(北邊水龍頭開關(guān),不用太大,適當即可)C.檢查濕氧瓶中水位是否達到刻度以上(瓶上雙面膠標志,一般水位需在雙面膠上方),濕氧前十分鐘左右需要插電源加熱。如圖:D.預(yù)擴散實驗前,需打開半導(dǎo)體源瓶冷阱開關(guān)(位于設(shè)備左側(cè)靠后下方),設(shè)置所需溫度(根據(jù)擴散要求一般為0度10度)。如圖:E.點擊工具欄的第二個圖標“開始監(jiān)控”,計算
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