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文檔簡介
1、第一章1.1集成電路的印象體積小質量輕;高速度;低功耗;高可靠性;電子整機低成本;電子產品設計周期短微電子學——微型電子學;核心——集成電路;微電子技術專指從事半導體集成電路設計和制造的工作,由于多用材料主要是半導體,因此又常稱為半導體集成電路;由于整個電路在一層薄如紙的一層硅片內完成,有人將半導體集成電路為芯片或半導體芯片。1956年,晶體管的發(fā)明人威廉肖克利(WilliamShockley)在斯坦福大學南邊的山景城創(chuàng)立肖克利半導體實
2、驗室。1957年,肖克利決定停止對硅晶體管的研究。當時公司的八位工程師出走成立了仙童(Fairchild)半導體公司,稱為“八叛逆”?!鞍伺涯妗崩锏闹Z伊斯和摩爾后來創(chuàng)辦了英特爾(Intel)公司。在仙童工作過的人中,斯波克后來成為國民半導體公司的CEO,另一位桑德斯則創(chuàng)辦了AMD公司。英特爾仍是全球最大半導體廠商集成電路的制造:400多道工序;芯片制造過程:晶圓處理、晶圓針測、封裝、成品測試等;在晶圓上制作電路及電子元件,晶圓上就形成了
3、一個個的小格,即晶粒。對每個晶粒檢測其電氣特性,并將不合格的晶粒標上記號后,將晶圓切開,分割成一顆顆單獨的晶粒。處理后的晶圓排滿成百上千個集成電路。晶圓是指硅半導體積體電路制作所用的硅晶片,由于其形狀為圓形,故稱為晶圓;在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結構,而成為有特定電性功能之IC產品。晶圓的原始材料是硅,而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經由電弧爐提煉,鹽酸氯化,并經蒸餾后,制成了高純度的多晶硅,其純度高達0.99999
4、999999。晶圓制造廠再將此多晶硅融解,再于融液內摻入一小粒的硅晶體晶種,然后將其慢慢拉出,以形成圓柱狀的單晶硅晶棒,由于硅晶棒是由一顆小晶粒在熔融態(tài)的硅原料中逐漸生成,此過程稱為“長晶”。硅晶棒再經過研磨,拋光,切片后,即成為積體電路工廠的基本原料——硅晶圓片,這就是“晶圓”。在一塊半徑為R的圓形晶圓片上制造面積為A的方形芯片的晶圓面積利用率為:2A1)(R???集成電路集成度的提高主要依賴于:(1)晶體管尺寸的縮小;(2)芯片面積
5、的增大(60年代是1mm^2,20世紀末超過了1cm1cm)。集成度:一塊集成電路芯片(單位面積)中所包含的元器件(晶體管)數(shù)目【真空電子管】金屬里是有電子的,在很高的電壓作用下有可能把冷金屬里的電子拉出來,在不太高的電壓作用下也可能把熱金屬里的電子拉出來?,F(xiàn)在我們把兩塊金屬封在一個真空的玻璃管里,一塊加熱一塊不加熱,那么我們就可以輕易把熱金屬里的電子拉向冷金屬,而很難把冷金屬的電子拉向熱金屬。這樣就使得這個管子具有了單向導電的特性,電
6、子從熱金屬飛向冷金屬,在物理上就定義為電流從冷金屬流向了熱金屬。使用真空的原因是為了避免空氣分子對電子運動造成不利影響。以上就是電子二極管的原理,它的特性是單向導電,熱金屬為陰極(負極),冷金屬為陽極(正極)。陰極通常是用燈絲或者旁邊裝有燈絲的金屬片制作的,而陽極則是普通金屬片。摩爾定律:集成電路芯片的集成度每三年提高4倍(18個月翻一番),而加工特征尺寸縮小2倍。?集成電路的發(fā)展方向?特征尺寸繼續(xù)等比例縮??;?晶圓尺寸向300mm以上
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