大功率微波電源控制方案的研究.pdf

1、微波等離子體技術(shù)具有極其廣闊的應(yīng)用領(lǐng)域,如等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積、等離子體表面處理以及等離子體刻蝕等。微波電源作為微波等離子體設(shè)備的核心,其輸出功率的不穩(wěn)定性將直接制約著微波等離子體技術(shù)的應(yīng)用與發(fā)展,因而,研究高穩(wěn)定輸出的大功率微波電源是微波等離子體技術(shù)中的一項重要課題。磁控管是獲取大功率微波能的主要電力電子器件,其特性類似于處在正交電磁場空間下的高頻二極管。在實際應(yīng)用中,由于磁控管的工作條件極為嚴(yán)格,若沒有完善的控制方案,細(xì)微的陰極

2、電壓或陽極電流波動,都將造成磁控管輸出功率的很大變化。
　　本研究提出了一種基于單片機(jī)ATmega16L針對磁控管陽極電流調(diào)節(jié)的控制方案,在對磁控管提供穩(wěn)定輸入電壓的同時,通過對磁控管的陽極電流進(jìn)行檢測采樣、處理并以增量式PI(比例-積分)調(diào)節(jié)算法計算出控制參數(shù),從而有效的調(diào)節(jié)磁場電流值的大小,最終達(dá)到微波電源穩(wěn)定輸出的目的。設(shè)計中采用了CK-619型大功率磁控管,并對其特性及工作原理進(jìn)行了介紹,同時,又對各種常用技術(shù)方案的優(yōu)劣之