自動光學(xué)檢測儀器PLC運動控制技術(shù)研究.pdf

1、平板顯示屏自動光學(xué)檢測儀器用于檢測、分析玻璃基板的缺陷，如今平板大型化趨勢發(fā)展迅猛，為了滿足高世代線玻璃基板的檢測需求，研制出高速、高穩(wěn)定性、高定位精度的大型檢測儀器的任務(wù)迫在眉睫。其運動控制系統(tǒng)是實現(xiàn)玻璃基板檢測的基礎(chǔ)，是平板檢測儀器的重要組成部分。
　　選用安川運動控制器MP2300S作為運動控制系統(tǒng)的主控器，主軸直線電機選用安川SGLGW型直線電機，旋轉(zhuǎn)電機選用安川SGMJV型。MP2300S通過M-Ⅱ總線的負載分散功能將系

2、統(tǒng)中IO模塊及伺服驅(qū)動系統(tǒng)串聯(lián)，實現(xiàn)多軸同步并行控制;采用雷尼紹光柵尺進行電機運動數(shù)據(jù)的采集與反饋，構(gòu)成全閉環(huán)運動控制系統(tǒng)，保證了主軸直線電機的穩(wěn)定性以及定位精度。利用MPE720編寫梯形圖程序，實現(xiàn)平板檢測儀器工作的時序控制;編寫了運動程序?qū)崿F(xiàn)主軸直線電機運動。實驗通過控制電機往復(fù)運動，采集記錄電機速度等信息，分析了速度與加速度對電機同步性能的影響，結(jié)果顯示速度越大電機同步性越差，加速度越小同步性越好;通過實驗研究不同運動控制方式對主