新型小型化石英振子設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn).pdf

1、現(xiàn)代壓電石英晶體振蕩器向小尺寸、低功耗、高頻率、高穩(wěn)定度的方向發(fā)展，石英晶體振蕩器產(chǎn)品面臨著小型化發(fā)展的巨大壓力。在過去的數(shù)十年來，石英振子的制造工藝一直沿用機(jī)械研磨加工工藝。當(dāng)傳統(tǒng)機(jī)械研磨加工工藝開發(fā)更小型化的石英晶體元件，遭遇到工藝瓶頸影響。針對傳統(tǒng)機(jī)械研磨工藝難以加工小型化石英振子的現(xiàn)狀，開發(fā)新型工藝用于小型化石英振子設(shè)計(jì)、制造勢在必行。
　　本論文正是針對上述問題，以石英晶體振蕩器中關(guān)鍵部件石英振子小型化設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)作為主要

2、的研究對象，在深入分析石英振子工作的理論基礎(chǔ)和技術(shù)原理上，提出了一種新型小型化石英振子方案。對該石英振子設(shè)計(jì)和實(shí)現(xiàn)進(jìn)行了詳盡的討論和研究。主要內(nèi)容為：
　　1．在分析討論石英晶體振蕩器基礎(chǔ)理論和工作原理的基礎(chǔ)上，提出了一種具有凸臺(tái)結(jié)構(gòu)的石英振子，這種石英振子具有設(shè)計(jì)參數(shù)簡單、加工精度可有效控制、體積小、生產(chǎn)成本低的優(yōu)點(diǎn)。
　　2．采用有限元分析法，仿真分析了新型小型化石英振子的諧振響應(yīng)，并通過調(diào)整設(shè)計(jì)凸臺(tái)高度、尺寸，分析了寄

3、生振動(dòng)與凸臺(tái)參數(shù)設(shè)計(jì)之間的關(guān)系。完成了F=19.2MHz2520規(guī)格石英振子設(shè)計(jì)。
　　3．研究分析了傳統(tǒng)石英振子加工工藝和日本QMEMS石英加工工藝的特點(diǎn)，提出了一種新型石英振子晶片加工工藝技術(shù)。該技術(shù)具有工藝簡單、生產(chǎn)成本低、設(shè)備引入少的優(yōu)點(diǎn)?；趯=19.2MHz石英振子晶片的加工，就石英振子尺寸加工、石英振子外形加工、石英振子頻率調(diào)整工作進(jìn)行了的深入研究，并得到相關(guān)研究結(jié)論。制作完成的石英振子滿足課題提出的加工參數(shù)指標(biāo)。