0.15微米工藝光刻圖形缺陷攻關(guān)項(xiàng)目管理

1、復(fù)旦大學(xué)碩士學(xué)位論文0.15微米工藝光刻圖形缺陷攻關(guān)項(xiàng)目管理姓名：凌意明申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：碩士專(zhuān)業(yè)：項(xiàng)目管理指導(dǎo)教師：倪衛(wèi)明2010-03-01A b s t r a c tA p p l i c a t i o no fs e m i c o n d u c t o rp r o d u c t sm o r ew i d e l y ，A st h eb r a i n so fe l e c t r o n i c d e v i c

2、 e s ，t h e h e a r t o f p o w e r c o n t r 0 1 ．T h e p u r s u i t o f i t si n c r e a s i n g l y h i g h p e r f o r m a n c e a n d r e l i a b i l i t y i s b o u n d i n t h es e m i c o n d u c t o rm a n u f

3、a c t u r i n g p r o c e s s a l s o n e e d t o i m p r o v e y i e l d s a n dr e d u c ed e f e c t s ． I n t h e s ey e a r s ，t h eg r o w t hr a t eo fs e m i c o n d u c t o rm a r k e ts t a r t e d t o d e c l

4、i n e 。 i n t h e p a s t t h a t h a v e s o u g h t i n m i n i a t u r i z a t i o nt e c h n o l o g yt o r e d u c et h ec o s to ft h er o u t eh a db e e nc l o s et o t h eli m i t ，a n dt h u st h ep u r s u i t

5、o fp r o d u c t y i e l dt o r e d u c ec o s t sa n di m p r o v et h ec o m p e t i t i v e n e s s o fe n t e r p r i s e s ．P h o t o l i t h o g r a p h y p r o c e s s p l a y s a k e y r o l e i n s e m i c o n d

6、 u c t o rm a n u f a c t u r i n g ， f r o mt h e0 ．2 5m i c r o n ，0 ．1 8 m i c r o nt o t o d a y ’S0 ．1 5 m i c r o n ，0 ．1 3m i c r o n ，a n de v e n9 0 n mi n v a r i a b l yp r o g r e s sf r o m l i t h o g r a p

7、 h yp r o c e s si n n o v a t i o n ．I n1 i t h o g r a p h yt h ee x i s t e n c eo fa k i n d so fd e f e c t sa f f e c t i n gt h e p r o d u c t y i e l d ．I n t h i s t h e s i s ，r e s e a r c h f o r t h e 0 ．1

8、5 u m p r o c e s s1 it h o g r a p h y p a t t e r nd e f e c t s p r o j e c t s ．T h i S t h e s i s s t a r tw i t h t h e b a s i c t h e o r y o f p r o j e c t m a n a g e m e n t ，c o m b i n e dw i t ht h ea c t

9、 u a l s e t o fp r o j e c tm a n a g e m e n t i nt h ec o m m u n i t ya n dr o l e o ft h ep r a c t i c a la p p l i c a t i o n ．S e c o n d ，s o m e o n em a y b en o tf a m i l i a rw i t hs e m i c o n d u c t o

10、 ri n d u s t r y w a f e rp r o d u c t i o nl i n em a y ，I nt h i st h e s i sw i l lb r i e fi n t r o d u c es e m i c o n d u c t o rm a n u f a c t u r i n gc o n d i t i o n sa n dp r o c e s s e s ，f o c u s i n

11、 g o na d v a n c e dt e c h n o l o g yi nt h el i t h o g r a p h yd e p a r t m e n ti sf a c i n gc h a l l e n g e s ，w h i c hl e a d st op r o j e c tm a n a g e m e n t i n t h e 1i t h o g r a p h y p r o c e s

12、sv a l u e ．T h i r d ，t h r o u g ht h ea n a l y s i so fp r o j e c t m a n a g e m e n ta p p l i c a t i o ni nt h es e m i c o n d u c t o ri n d u s t r y ，f o c u s i n go nt h e0 ．1 5 m i c r o np r o c e s sl i

13、 t h o g r a p h yp a t t e r nd e f e c t sr e s e a r c hp r o j e c tm a n a g e m e n t ，s p e c i f i ca p p l ie dr e s e a r c hs e v e r a lm a j o rf a c t o r so ft h i sp r o j e c t ，s u c ha sr i s km a n a

14、g e m e n t ，s c h e d u l em a n a g e m e n ta n dc o s tm a n a g e m e n t ，a n dg i v ea p r o p o s a l h o wt o in c r e a s e o ri m p r o v e p r o j e c tm a n a g e m e n t ．F i n a l l y ，t h r o u g ht h ea

15、n a l y s i so ft h i sp r o j e c t ，s e l f e x p e r i e n c eo nt h eli t h o g r a p h y p r o c e s sm a n a g e m e n t a n d g r a s s ——r o o t s a w a r e n e s s o f p r o p o s e dl i m i t a t i o n se x i s