0.15um工藝光刻制程中的關(guān)鍵技術(shù)

1、天津大學(xué)碩士學(xué)位論文0.15um工藝光刻制程中的關(guān)鍵技術(shù)姓名：劉偉申請學(xué)位級別：碩士專業(yè)：集成電路制造指導(dǎo)教師：趙毅強(qiáng)；張書慶2011-12A B S T I 淑TI nt h er e c e n tt w e n t yy e a r s ，I Ct e c h n o l o g y m a d e a h u g ep r o g r e s s ．T h ei n t e g r a t i o nk e e po n i n

2、 c r e a s i n g f o l l o w i n gM o o r e ’S1 a w ：t h en u m b e ro ft r a n s i s t o r st h a t c a nb ep l a c e di n e x p e n s i v e l yo na n i n t e g r a t e dc i r c u i td o u b l e s a p p r o x i m a t e

3、l ye v e r yt w oy e a r s( o r18 m o n t h s ) ．W i t ht h ei n t e g r a t i o nt u r n sh i g h e ra n d h i g h e r , l i t h o g r a p h ym e e t sm o r ea n dm o r e t r o u b l e ．S u c h a st h eo p t i c a l p a

4、 r a m e t e r s e R i n g ，t h ef i l mf l a t n e s s ，t h e r e f l e c t e d1 i g h t a n d r e s i s t t h i c k n e s s u n i f o r m i t y , w h i c h h a v e d i r e c t r e l a t i o n s h i p w i t h t h es u c

5、 c e s s f u li m a g e t r a n s f e r ．T h i s p a p e ri n t r a d u c e s t h e b a s i c l i t h o g r a p h y p r o c e s s ，i n c l u d i n g r e s i s t c o a t i n g ，e x p o s u r e ．d e v e l o p e r , O v e r

6、 l a ya n d C r i t i c a lD e m e t i o ni n l i n ec h e c k ．、黼ht h et r a d i t i o n a lo p t i c a l ．2 4 8 n mK r F s c a n n e r c a n g e tt h eb e s tC D w h i c h i S 0 ．18 u r n o n l y ．S oi fw a n t t om a

7、k e a O ．1 5 u nC D p o s s i b l e ，m o r ea u x i l i a r yt e c h n o l o g yi sr e q u i r e d ．T h i sp a p e ra l s oi n t r o d u c e st h e t e c h n o l o g ys u c ha st h eO A l w h i c h c a n i m p r o v e r

8、e s o l u t i o n ．P S Mw h i c hc a n i m p r o v e t h ec o n t r a s t ．O P Ct h a t c a n i m p r o v e I Cr e l i a b i l i t y , B A R Cr e s i s tw h i c h i Su s e dt or e d u c e t h e r e f l e c t i o n ．B e c

9、 a u s e o f t h ei m p a c t o f w a f e rs u r f a c ee m i s s i v i t ya n df l a t n e s sb ye a c h p r o c e s so ft h ew h o l e f l o w , t h e l i t h o g r a p h yp r o c e s sw i n d o w i Sn a r r o w ．T h e

10、w a f e ra l w a y e rS U 髓rl O W y i e l di s s u e ，e s p e c i a l l ya tw a f e re d g ew h i c h c a u s e db yt h ef i l m f l a t n e s sg a p ．I ti St h e f i r s tk i l l e ro f y i e l d a n d h a r d t ob es o

11、 l v e d ．T h i s p a p e r t a k e sa p r o d u c t i o nw h i c h s u f f e rw a f e re d g el o w y i e l da se x a m p l e ，a f t e rd o i n gf a i l u r ea n a l y s i si n d e t a i lu s i n gI V c u r ea n d O B I

12、 R C H ，s t u d y i n gt h em e t h o do fd e t e c t i n gs u r f a c ef l a t n e s sa n d t h eS M S c o m p e n s a t i o n a r i t h m e t i cd e e p l y , g e t a e f f i c i e n tw a f e re d g e d e f o c u s s o