面向青光眼的無線眼壓傳感器及房水引流微泵的研究.pdf

1、青光眼是全球第二大不可逆眼科致盲性疾病，眼內(nèi)壓的持續(xù)升高及房水動力學(xué)異常是造成青光眼的關(guān)鍵因素，因此對于眼內(nèi)壓監(jiān)測及房水引流一體化智能系統(tǒng)的研究顯得尤為重要。本文圍繞一種非侵入式無線無源眼壓傳感器進(jìn)行設(shè)計、制作及測試，并對用于房水引流的微泵進(jìn)行了研究。
　　本文首先基于眼壓傳感器敏感機理和傳感器無線射頻檢測，設(shè)計了一個僅由電感線圈作為敏感元件的壓力傳感器；螺旋電感和線圈相鄰導(dǎo)線間的寄生電容構(gòu)成了串聯(lián)LC諧振回路；利用ADS仿真軟件

2、對傳感器的結(jié)構(gòu)尺寸進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計；通過選擇合適的基底材料與濺射材料，基于MEMS工藝技術(shù)，完成了眼壓傳感器的加工；經(jīng)過體外模擬壓力測試及眼內(nèi)壓與彎曲直徑的分析，發(fā)現(xiàn)彎曲直徑每增加0.01mm，眼壓隨之增加3.75mmHg，傳感器讀取頻率隨著壓力增加而減小，測試靈敏度為-4.6kHz/mmHg，測試結(jié)果表明該眼壓傳感器可以測試5-45mmHg之間的壓力值，可以滿足一般青光眼患者眼內(nèi)壓的檢測需求。
　　本文最后分析了用于房水動態(tài)引流的