用Franz-Keldysh效應(yīng)研究GaAs氧化表面及表面硫化學(xué)鈍化處理新探.pdf

1、該文利用表面-本征層-重?fù)诫s層(s-i-n<'+>)結(jié)構(gòu),用光調(diào)制反射譜觀察到了大量的Franz-Keldysh振蕩(FKO),精確地測(cè)量出了本征層地電場(chǎng),從而首次精確地研究了GaAs表面硫鈍化前后的表面費(fèi)米能級(jí),估計(jì)了表面態(tài)密度的變化.作者用了一系列的硫化物對(duì)GaAs表面進(jìn)行鈍化處理,發(fā)現(xiàn)了鈍化對(duì)光反射譜影響規(guī)律,鈍化形成了Ga-S成分,這種成分是GaAs的一個(gè)理想的鈍化層.實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,由于費(fèi)米能級(jí)向價(jià)帶移動(dòng)而影響了電場(chǎng)的變化,用N

2、a<,2>S、S<,2>Cl<,2>、CH<,3>CHNH<,2>鈍化GaAs表面,費(fèi)米能級(jí)分別移動(dòng)0.05eV、0.10eV和0.11eV.并且,作者得出結(jié)論,GaAs的表面復(fù)便率和表面態(tài)密度因?yàn)榱蚧鴾p小了,因此費(fèi)米能級(jí)不但釘扎減弱了,而且改變了釘扎的位置.該文作者認(rèn)為,Na<,2>S鈍化GaAs表面后還含有氧,但是用CH<,3>CSNH<,2>進(jìn)行鈍化能形成比Na<,2>S和S<,2>Cl<,2>鈍化更密的Ga和As的硫化層.再者