半導(dǎo)體晶圓廠氣體監(jiān)控系統(tǒng)設(shè)計(jì).pdf_第1頁
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文檔簡介

1、在半導(dǎo)體晶圓工廠工藝生產(chǎn)制程中所使用的氣體大多數(shù)為毒性、腐蝕性或易燃性的特殊氣體，一旦這些氣體發(fā)生泄漏，如果沒有報(bào)警，會(huì)給現(xiàn)場工作人員帶來極大的安全危害，因此特殊氣體監(jiān)控系統(tǒng)在半導(dǎo)體晶圓工廠中起著非常重要的作用，它能實(shí)時(shí)地顯示氣體泄漏的信息并且及時(shí)地報(bào)警，讓監(jiān)控人員能夠及時(shí)地進(jìn)行下一步處理。
　　本論文的目的在于設(shè)計(jì)一個(gè)優(yōu)化的半導(dǎo)體晶圓工廠特殊氣體監(jiān)控系統(tǒng)。這個(gè)系統(tǒng)用來偵測晶圓工廠內(nèi)的有毒有害氣體泄漏以及地震發(fā)生，及時(shí)地進(jìn)行氣體關(guān)

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