新型雙級(jí)解耦微機(jī)械陀螺的電場(chǎng)及壓電耦合特性研究.pdf_第1頁(yè)
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1、本文運(yùn)用微機(jī)電系統(tǒng)動(dòng)力學(xué)理論對(duì)新型MEMS微機(jī)械振動(dòng)式陀螺儀進(jìn)行研究，探討了微陀螺儀的驅(qū)動(dòng)方式和驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)，并研究了作為驅(qū)動(dòng)力的靜電力的計(jì)算方法，進(jìn)而對(duì)我們提出的一種新型雙級(jí)解耦微機(jī)械陀螺儀進(jìn)行了動(dòng)力學(xué)仿真及壓-電耦合分析研究。 首先，建立一對(duì)驅(qū)動(dòng)梳齒分析模型，研究了影響靜電力變化的主要因素：交錯(cuò)位移和外加電勢(shì)對(duì)靜電力的影響趨勢(shì)，分析了電勢(shì)分布，電磁密度分布等問(wèn)題。在此基礎(chǔ)上繼續(xù)考察了多組梳齒之間的電勢(shì)影響以及靜電力的變化情況，以

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