解耦結(jié)構(gòu)微機械陀螺特性研究.pdf

1、微機械陀螺是MEMS技術(shù)應(yīng)用在慣性傳感器領(lǐng)域繼微機械加速度計之后的又一重大突破。陀螺技術(shù)不但在軍事、航空、航天領(lǐng)域發(fā)揮著巨大作用，而且在國民經(jīng)濟的其它領(lǐng)域中也獲得應(yīng)用，為國民經(jīng)濟的發(fā)展發(fā)揮著重要作用。因此開發(fā)高性能、低成本的微機械陀螺對于國家來說不僅具有很強的戰(zhàn)略意義，同時也具有一定的經(jīng)濟意義。
　　本課題的主要內(nèi)容是微機械陀螺的特性研究：首先，對結(jié)構(gòu)的頻響特性進(jìn)行研究，介紹了模態(tài)匹配對陀螺性能的影響，重點進(jìn)行了全對稱解耦結(jié)構(gòu)陀螺

2、的模態(tài)仿真和陀螺結(jié)構(gòu)頻響特性的測試，諧振頻率分布在2.3kHz～2.5kHz之間，實驗結(jié)果驗證對稱結(jié)構(gòu)可使陀螺的兩模態(tài)達(dá)到預(yù)期的匹配程度，通過頻響特性曲線計算大氣壓下Q值為199，證實滑膜阻尼模型可以使陀螺實現(xiàn)大氣壓下工作；其次，對結(jié)構(gòu)的解耦性能進(jìn)行研究，理論建模分析了結(jié)構(gòu)解耦性能，用有限元仿真軟件進(jìn)行結(jié)構(gòu)解耦特性的仿真，仿真結(jié)果為模態(tài)間交叉耦合小于0.2％，對結(jié)構(gòu)的解耦效果進(jìn)行測試，結(jié)構(gòu)解耦達(dá)到預(yù)期效果；最后，對結(jié)構(gòu)非線性進(jìn)行研究，介