基于全反射棱鏡結(jié)構(gòu)的雙波長M--Z干涉系統(tǒng)研究.pdf

1、相移干涉測量技術(shù)以其非接觸、靈敏度高和重復(fù)性好等諸多優(yōu)勢，在光學(xué)測量與檢測領(lǐng)域具有廣泛應(yīng)用。雙波長相移干涉測量技術(shù)將雙波長全息技術(shù)和相移干涉技術(shù)相結(jié)合，在保證較高的測量精度的基礎(chǔ)上，可解決傳統(tǒng)單波長測量較大偏差面形時所產(chǎn)生的2π模糊問題，又?jǐn)U大了干涉測量的量程，因此該方法在光學(xué)干涉測量領(lǐng)域具有更廣闊的應(yīng)用前景。
　　本文在對雙波長相移干涉的基礎(chǔ)理論進行系統(tǒng)研究的基礎(chǔ)上，設(shè)計了一個不易變形、便于裝調(diào)的基于全反射棱鏡結(jié)構(gòu)的M-Z雙波長

2、干涉系統(tǒng)，通過計算分析確定了相關(guān)的硬件參數(shù)，完成了雙波長移相干涉系統(tǒng)的裝調(diào)，工作波長分別為632.8nm與532nm，口徑為30mm。進一步，研究了等效波長相位提取算法，利用橢圓擬合法對傳統(tǒng)的雙波長算法進行改進，提出了一種基于四步相移橢圓擬合的相位提取雙波長算法，該方法既擴大了深度測量范圍，又提高了測量方法的測量精度。最后，構(gòu)建了雙波長M-Z移相干涉實驗系統(tǒng)，利用所搭建的實驗系統(tǒng)對透明的凹面元件的表面輪廓進行測量，采用改進的雙波長算法恢