基于全反射棱鏡結構的雙波長M--Z干涉系統(tǒng)研究.pdf

1、相移干涉測量技術以其非接觸、靈敏度高和重復性好等諸多優(yōu)勢，在光學測量與檢測領域具有廣泛應用。雙波長相移干涉測量技術將雙波長全息技術和相移干涉技術相結合，在保證較高的測量精度的基礎上，可解決傳統(tǒng)單波長測量較大偏差面形時所產生的2π模糊問題，又擴大了干涉測量的量程，因此該方法在光學干涉測量領域具有更廣闊的應用前景。
　　本文在對雙波長相移干涉的基礎理論進行系統(tǒng)研究的基礎上，設計了一個不易變形、便于裝調的基于全反射棱鏡結構的M-Z雙波長

2、干涉系統(tǒng)，通過計算分析確定了相關的硬件參數(shù)，完成了雙波長移相干涉系統(tǒng)的裝調，工作波長分別為632.8nm與532nm，口徑為30mm。進一步，研究了等效波長相位提取算法，利用橢圓擬合法對傳統(tǒng)的雙波長算法進行改進，提出了一種基于四步相移橢圓擬合的相位提取雙波長算法，該方法既擴大了深度測量范圍，又提高了測量方法的測量精度。最后，構建了雙波長M-Z移相干涉實驗系統(tǒng)，利用所搭建的實驗系統(tǒng)對透明的凹面元件的表面輪廓進行測量，采用改進的雙波長算法恢