60對棒多晶硅還原電氣系統(tǒng)研究與設(shè)計.pdf

1、硅是現(xiàn)代電子、電氣、信息和新能源發(fā)電（光伏發(fā)電）等領(lǐng)域的基礎(chǔ)性材料，多晶硅的生產(chǎn)是整個硅材料產(chǎn)業(yè)鏈中最重要的環(huán)節(jié)，同時也是制約我國硅產(chǎn)業(yè)發(fā)展的主要瓶頸之一。
　　多晶硅還原爐電源系統(tǒng)是多晶硅還原生長控制系統(tǒng)的核心部分，主要用于控制多晶硅還原爐內(nèi)硅棒的電壓電流，從而控制爐內(nèi)溫度，為多晶硅生長創(chuàng)造最佳環(huán)境。在多晶硅棒的生長過程中，阻值是由高阻值逐漸減小的，因此多晶硅電源的輸出電壓逐漸降低，輸出電流逐漸增大，電壓變化范圍可從幾千伏降至幾

2、百伏，電流的變化范圍為幾百安至幾千安，具體數(shù)值跟硅棒的生長粗細(xì)和工藝有關(guān)系。為節(jié)省資源和提高效率，隨著生產(chǎn)工藝和技術(shù)的不斷和發(fā)展，單爐生產(chǎn)量不斷增長?；诖?，本文主要研究60對棒多晶硅的還原電源系統(tǒng)。
　　本文所做的主要工作如下：（1）60對棒多晶硅還原電氣系統(tǒng)硬件設(shè)計；（2）分析還原電氣加熱電源的疊層控制原理，及該方法對交流調(diào)壓電路功率因數(shù)的提高和對諧波抑制的作用；（3）還原加熱電源的系列保護(hù)措施；（4）對疊層控制系統(tǒng)進(jìn)行仿真和