基于衍射光初相位測量的光柵曝光拼接誤差檢測研究.pdf

1、高質(zhì)量大口徑脈沖壓縮光柵是高功率脈沖壓縮系統(tǒng)中的重要光學(xué)元件。但其制作難度大、成本高，這些因素制約著大口徑脈沖壓縮光柵的研制。針對國內(nèi)目前的技術(shù)狀況，全息光柵曝光拼接技術(shù)是研制大口徑光柵的最佳方案。針對潛像拼接在大口徑拼接中存在的對準(zhǔn)困難和成功率低等問題，課題組提出了逐區(qū)曝光和逐區(qū)刻蝕拼接方案。但是在拼接結(jié)束檢測拼接誤差時(shí)，這兩種拼接方法都會因?yàn)椴坌尾町惍a(chǎn)生衍射波面錯(cuò)位，疊加到橫向位移誤差引起的相位變化中，從而干擾橫向位移誤差的判斷。因

2、此本論文主要解決不同形貌光柵的衍射光初相位的計(jì)算問題以及衍射光初相位在光柵拼接誤差檢測中的應(yīng)用問題。為此本文主要進(jìn)行了以下工作：
　　1、介紹了大口徑光柵的研究背景和國內(nèi)外的研究現(xiàn)狀，敘述了曝光拼接原理，介紹了逐區(qū)顯影和逐區(qū)刻蝕拼接方法的工藝流程和對準(zhǔn)拼接方法，提出理論計(jì)算衍射光相位差的必要性。
　　2、基于嚴(yán)格耦合波理論編寫了衍射光相位的計(jì)算程序，分別從理論和實(shí)驗(yàn)上驗(yàn)證了計(jì)算程序的正確性。
　　3、根據(jù)相位分布的規(guī)律