Ni基合金襯底上ScAlN薄膜的制備與研究.pdf_第1頁(yè)
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1、電子科技大學(xué)碩士學(xué)位論文I電子科技大學(xué)UNIVERSITYOFELECTRONICSCIENCETECHNOLOGYOFCHINA專業(yè)學(xué)位碩士學(xué)位論文MASTERTHESISFPROFESSIONALDEGREE論文題目Ni基合金襯底上ScAlN薄膜的制備與研究專業(yè)學(xué)位類別工程工程碩士碩士學(xué)號(hào)201322030414作者姓名楊翼晞楊翼晞指導(dǎo)教師楊成韜楊成韜教授PREPARATIONRESEARCHOFScAlNFILMBASEDONSU

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