氧化鈀基敏感材料的制備及室溫氣敏特性研究.pdf

1、氣體傳感器中，應(yīng)用最為廣泛的電阻式金屬氧化物在檢測各類污染氣體及易燃易爆氣體時大多需要150～400℃的工作溫度，較高的工作溫度在功耗、穩(wěn)定性及安全性上都存在不足。因此，室溫半導(dǎo)體傳感器的研究具有重要意義。近年來，氧化鈀作為一種窄帶隙p型半導(dǎo)體氧化物，其本身的氣敏特性開始得到關(guān)注。本文以PdO為主要?dú)饷舨牧希捎貌煌椒ㄖ苽涞玫搅薖dO納米材料，并對其室溫下氣敏特性進(jìn)行了研究，主要工作內(nèi)容如下:
　　采用沉淀法，制備得到了由直徑約

2、為10nm的顆粒堆疊而成的氧化鈀納米材料，并對其進(jìn)行了TGA、XRD、SEM表征。使用動態(tài)配氣系統(tǒng)測試了不阿溫度煅燒后的PdO材料對CO的氣敏特性，確定了室溫下PdO可對CO氣體響應(yīng)，且700℃為最佳的煅燒溫度。通過對不同條件下長期處理的PdO材料進(jìn)行XPS表征，分析得出PdO材料中參與CO氧化過程的氧的類型;通過測試PdO對O2的響應(yīng)恢復(fù)特性及無氧環(huán)境下對CO的響應(yīng)恢復(fù)特性，對PdO材料室溫下的CO氣敏機(jī)理進(jìn)行了分析。
　　采用

3、水熱法，以CTAB為分散劑，制備得到了PdO納米材料，并對其形貌結(jié)構(gòu)等進(jìn)行了表征。使用靜態(tài)配氣系統(tǒng)，對PdO材料的室溫甲醛氣敏特性進(jìn)行測試。通過對比發(fā)現(xiàn)當(dāng)n(PdCl2)∶ n(CTAB)=1∶3時，PdO材料的室溫甲醛氣敏性能最好。分析了PdO材料的室溫甲醛氣敏機(jī)理，并將水熱法和沉淀法制備的PdO材料室溫甲醛氣敏性能進(jìn)行了對比，發(fā)現(xiàn)水熱法制得的材料具有更好的長期穩(wěn)定性和重復(fù)性。
　　采用水熱法，制備得到了不同鈀銅原子比的PdO/