基于聲表面波諧振式無源無線壓力傳感器的研究.pdf

1、壓力傳感器在傳感器市場(chǎng)占有很大的份額。聲表面波壓力傳感器以高靈敏度、高Q值、體積小、制造成本低、易于集成及可無源無線測(cè)量等優(yōu)勢(shì)，在傳感器應(yīng)用領(lǐng)域具有極大的優(yōu)勢(shì)和應(yīng)用前景。因此對(duì)于聲表面波壓力傳感器的研究具有重要的意義。
　　本文研究了聲表面波的相關(guān)理論，器件的工作原理。對(duì)比了常用于SAW器件的壓電材料的特性，如機(jī)電耦合系數(shù)，聲表面波波速、溫度系數(shù)等，為基片的優(yōu)化選擇提供了依據(jù)。在此基礎(chǔ)上，研究了器件的結(jié)構(gòu)參數(shù)，如IDT與反射柵相關(guān)

2、結(jié)構(gòu)與尺寸、金屬薄膜厚度等。
　　進(jìn)一步采用有限元分析軟件COMSOL Multiphysic對(duì)壓電基片進(jìn)行了建模及受力分析，以確定諧振器最佳放置位置以使器件靈敏度最高。然后建立SAW諧振器模型，對(duì)其進(jìn)行了特征頻率分析、頻率響應(yīng)分析，研究了載荷對(duì)頻率響應(yīng)的影響、聲孔徑對(duì)頻率響應(yīng)的影響等，為器件的合理設(shè)計(jì)奠定了理論基礎(chǔ)。
　　研究了SAW器件的微加工工藝，完成器件的制作。通過對(duì)比電子槍蒸發(fā)及磁控濺射鍍膜方式，分析了二者在SAW