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文檔簡介
1、本文主要研究聲表面波壓力傳感器在低壓領(lǐng)域(0-20kPa)的設(shè)計(jì)、制作。分析介紹了LiNbO3（鈮酸鋰）材料的一些相關(guān)性質(zhì)并據(jù)此選用X-1280Y LiNb03（鈮酸鋰）作為聲表面波壓力傳感器的基片材料。并對(duì)聲表面波壓力傳感器的輸入叉指換能器和輸出叉指換能器進(jìn)行設(shè)計(jì)，其中輸入換能器采用余弦平方函數(shù)進(jìn)行加權(quán)設(shè)計(jì)，以消除旁瓣干擾，輸出換能器采用均勻換能器。
同時(shí)建立了聲表面波壓力傳感器的線性回歸數(shù)學(xué)模型，由計(jì)算得出聲表面波壓力傳感
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